生物活性炭組合工藝也涉及到臭氧氧化技術。臭氧氧化技術具有氧化能力強、反應速度快、不產生污泥、無二次污染的特點。
臭氧能夠有效的氧化分解廢水中的有機物和氨氮，具有接觸時間短、處理效率高、不受溫度影響等特點，并具有殺菌、除臭、除味、脫色等功能。臭氧之所以表現出強氧化性，是因為分子中的氧原子具有強烈的親電子或親質子性，臭氧分解產生的新生態氧原子也具有很高的氧化活性。并且，證明對于處理洗浴廢水中陰離子洗滌劑氧化降解，具有較好的效果。但是，臭氧與有機物反應具有選擇性，不易將所有有機物徹底分解為CO2和H2O。
因此，一般采用臭氧氧化與其它處理方法聯用的工藝，去廢水中有機污染物的方法應用較為廣泛，如臭氧與活性炭聯合，臭氧與膜聯合等。
